بررسی ITO و ویژگی های آن
فصل اول
1-1- معرفی ITO و ویژگی های آن
1-1-1- خواص عمومی و ساختار فیزیکی
1-1-2- خواص الکتریکی
1-1-3- تحرک حامل های آزاد؛ مکانیزم پراکندگی
1-1-4- ویژگی های اپتیکی
1-1-5- ثابتهای اپتیکی
1-1-6- ساختار باند
1-2- روشهای لایه نشانی ITO
1-2-1- تبخیر حرارتی
1-2-2- لایه گذاری به روش بخار شیمیایی
1-2-3- افشانه گرما کافت (Spry pyrolysis)
1-2-4- چاپ صفحه ای (screen printing)
1-2-5- لایه گذاری توسط باریکه الکترونی (e – beam)
1-2-6- لایه گذاری به روش بخار شیمیایی
1-3- تماس نیمه هادی ITO
1-3-1- تحلیل دیاگرام باند انرژی تماس MS
فصل دوم
3-1 عملیات قبل از لایه نشانی
3-1-1- استفاده از محلول (RCA)
3-1-2- استفاده از حمام اولتراسونیک
3-1-3- گرما دهی به زیر لایه
3-2 عملیات لایه نشانی
3-2-1- کندوپاش
3-2-2- اساس مکانیزم کندوپاش
3-2-3- dc کندوپاش
3-2-4- rf کندوپاش
3-2-5- مگنترون کندوپاش
3-2-6- کندوپاش واکنشی
3-2-7- مزیت های فرایند کندوپاش
3-2-8- سیستم لایه نشانی مورد استفاده در این پروژه
3-2-9- تاثیر فاصله بین هدف و زیرلایه بر خواص فیلم ITO
3-2-10- تاثیر فشار جزئی اکسیژن روی ویژگی های فیلم ITO
- عملیات پس از لایه نشانی
- فرایند پس گرمایش
فصل چهارم
4-1- الگودهی به نمونه ها
4-1-1- طراحی و ساخت الگو
4-1-2- انواع فتورزیست
4-1-3- روش Lift-off
4-1-4- روش زدایش (etching)
4-1-4-1- زدایش خشک
4-1-4-2- زدایش تر
4-2- ضخامت سنجی
4-3- اندازه گیری مقاومت تماس
4-4- اندازه گیری مقاومت ورقه ای
4-4-1- پروب چهار نقطه ای
4-5- روش های کریستالوگرافی
4-5-1- بررسی با کمک میکروسکوپ نوری
4-5-2- بررسی با میکروسکوپ الکترونی
4-5-3- میکروسکوپ اسکن کننده الکترونی (SEM) و تحلیل تفکیک کننده اشعه ایکس (EDX)
4-5-4- میکروسکوپ انتقال دهنده الکترون (TEM)
4-5-6- شناسایی بر اساس تفرق اشعه ایکس (XRD)
4-5-7- RBS
4-5-8- بررسی با کمک میکروسکوپ نیرو اتمی (AFM)
4-6- طیف سنجی فروسرخ
4-6-1- فرایند جذب فروسرخ
4-6-2- موارد کاربرد طیف فروسرخ
4-6-3- حرکات ارتعاشی
4-6-4- دستگاه طیف سنج فروسرخ
